Xesi florua có thể được điều chế bởi phản ứng của xesi hydroxit (CsOH) với axit flohydric (HF). Muối thu được sau đó có thể được tinh chế bằng cách kết tinh lại. Phản ứng được hiển thị dưới đây:

Một cách khác để điều chế xesi florua là phản ứng giữa xesi carbonat (Cs2CO3) với axit flohydric. Muối thu được sau đó có thể được tinh chế bằng cách kết tinh lại. Phản ứng được hiển thị bên dưới:

Ngoài ra, flo và xesi nguyên tố cũng có thể được sử dụng để điều chế xesi florua, nhưng cách làm đó không thực tế do có giá thành cao.[6] Mặc dù đây không phải là cách điều chế thông thường, nhưng xesi kim loại phản ứng mạnh mẽ với tất cả các halogen để tạo thành muối. Do vậy nó cháy trong khí flo, F2, để tạo thành xesi florua, CsF theo phản ứng sau:

CsF có độ hòa tan cao hơn natri florua và kali florua. Nó có sẵn ở dạng khan, và nếu nước đã được hấp thụ thì có thể dễ dàng làm khô nó bằng cách đun nóng ở 100 °C trong 2 giờ trong chân không.[7] CsF có áp suất hơi 1 kilopascal ở nhiệt độ 825 °C, 10 kPa ở nhiệt độ 999 °C, và 100 kPa ở nhiệt độ 1249 °C.[8]

Các chuỗi CsF có độ dày nhỏ như một hoặc hai nguyên tử có thể được phát triển bên trong các ống nanô cácbon.[5]